糖心传媒

「SEMICON JAPAN」 出展!

2018.11.15

電子システム工学科 六倉信喜教授、篠田宏之准教授の研究室が「SEMICON JAPAN(セミコン?ジャパン)」に出展します。
SEMICON JAPANは、半導体製造装置?材料の世界有数の国際展示会です。
世界から750以上の出展社が最先端の製造技术を展示し、技术?ビジネスの様々なテーマを取り上げるセミナーや交流イベント等も开催します。

六仓教授、篠田准教授の研究室では、各种化合物半导体単结晶层の多层薄膜の形成を目的とした「低コスト?マルチターゲット型スパッタエピタキシー装置」の开発を行っています。
本展示では、高品质化合物半导体単结晶层の成长を低コスト?低环境负荷で実现可能なスパッタエピタキシー装置についてご绍介します。

开催日时
平成30年12月12日(水)~12月14日(金)
开催场所
东京ビッグサイト
入  场
无料?事前登録制
小间番号
1111
展示内容
【スパッタエピタキシー装置の开発】(特许取得済み)
 ?多品种?多层薄膜の连続形成が可能(マルチターゲット方式)
 ?単一电极方式を採用
 ?ターゲット材料を连続的に交换可能
 ?到達圧力は10 -8 Pa以下
 ?1200°颁の高温成长が可能
 ?真空チャンバーの小型化を実现
 ?低环境负荷の成长法

【骋补系ターゲットの开発】
 ?平板型骋补ターゲットを実现
 ?不纯物が极めて少ない

【高品质化合物半导体単结晶层の成长】
 ?骋补狈系?窜苍翱系?窜苍厂系化合物半导体単结晶层の成长
 ?不纯物ドープ化合物半导体単结晶层の成长

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