2018.11.15
電子システム工学科 六倉信喜教授、篠田宏之准教授の研究室が「SEMICON JAPAN(セミコン?ジャパン)」に出展します。
SEMICON JAPANは、半導体製造装置?材料の世界有数の国際展示会です。
世界から750以上の出展社が最先端の製造技术を展示し、技术?ビジネスの様々なテーマを取り上げるセミナーや交流イベント等も开催します。
六仓教授、篠田准教授の研究室では、各种化合物半导体単结晶层の多层薄膜の形成を目的とした「低コスト?マルチターゲット型スパッタエピタキシー装置」の开発を行っています。
本展示では、高品质化合物半导体単结晶层の成长を低コスト?低环境负荷で実现可能なスパッタエピタキシー装置についてご绍介します。
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